◆管路、水过滤器及阀门等管件均采用304不锈钢材料;
◆外壳均采用304不锈钢材料制作,表面磨光处理。外观简洁、流畅;
◆工作机器支架及硅片盒夹具均采用耐腐蚀、经特殊亚
◆手动调整,自动排片(需人工上料);
◆125mm~156mm硅片通用,节拍40~60片/min;
◆硅片自动排片机全封闭设计,美观大方;一体式组合脚轮,定位、移动两便;
◆硅片自动排片机配置:磁力驱动循环水泵,水箱总容积0.3m?,硅片水床滑台,滚珠丝杆传动三工位升降花篮座,三菱高分辨率MR-J2S系列伺服电机,三菱可编程序控制器、Autonics
1.产品执行标准:符合国家相关工业技术标准。
2.快换花篮治具,适应随时更换产品.水床滑台、水流助推提高排片可靠性。
3.花篮就位检测,排片滞留报警;可防止碎片和放发生故障。
4.电器传动系统采用PLC可编程控制器及高分辨率伺服电机,机械传动采用直线轴承滑块、直线轴及滚珠丝杆副、结构简洁、运动精度高。




