多通道石英晶体监测仪

   2023-10-05 互联网2040
核心提示:  1、RS-232接口,USB或以太网可选   2、双通道(标准型),四通道可选   3、高精度:0.03Hzat10个读数/s   4、沉积速率/

  1、RS-232接口,USB或以太网可选

  2、双通道(标准型),四通道可选

  3、高精度:0.03Hzat10个读数/s

  4、沉积速率/膜层厚度模拟输出>多通道石英晶体监测仪的参数

  QCM传感器输入:标准型:2;路可选:4路

  频率范围:1-10MHz

  频率分辨率:标准型:±0.12Hz@4readings/sec、可选:±0.03Hz@10readings/sec

  频率稳定性:在0?to50?C,总计±2ppm

  可选择的测量周期:0.10to2sec(每级增量0.05sec)

  测量选择:1to20readings

  存储膜系:99

  模拟输出:2路0to10VDC输出,沉积速率&膜厚

  数字输入/输出:2路数字输入,4路继电输出

  数字接口:标准型:RS-232、可选:USBor以太网

  电源:0-120/200-240VAC,50/60Hz,20W

  CE标识:Class1equipment、73/72/EECLVD,89/336/EECECD

  安装支架:1/2-rackcabinet,3-1/2"high,89x213x197mm(3-1/2"x8-1/2"x7-3/4")

  重量:2.7Kg(6lbs)

  Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能>多通道石英晶体监测仪的使用方法   开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪一定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时前面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过XtalLife键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。首先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。

 
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