地 址：苏州工业园区苏虹东路188号方正科技园A幢318B-10室
总 机：0512-67138961
销售服务邮箱：service@tlfvacuum.com
联系人：周先生
手机：13405087310
Edwards STPA1303爱德华分子泵大量应用于：
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋
离子注入源，射束线泵送端点站
英国爱德华Edwards STPA1303C是为半导体应用而设计的涡轮分子泵
Edwards STPA1303爱德华涡轮分子泵订货信息：
Edwards STPA1303C TMS ISO200F Inlet YT3626005
Edwards STPA1303C TMS DN200CF Inlet YT3626004
Edwards STPA1303C ISO200F Inlet B71802020
Edwards STPA1303C DN200CF Inlet YT36B0030
Accessories & Spares Order No.
Edwards STPA1303C Turbomolecular Vacuum Pump YT3626005
Edwards STPA1303C Turbomolecular Vacuum Pump YT3626004
Edwards TMS Connection Cable Kit PT330V000
Edwards TMS Connection Cable Kit PT330V001
Edwards TMS Connection Cable Kit PT330V002
Edwards Connection Cable 3m B75130050
Edwards Power Cable 10m PT49Y0A01
Power Cable 5m PT49Y0A00
Edwards SCU-800 Control unit YT49Z2Z00
Edwards STP straight connection cable ,10m B75130060
Edwards STP straight connection Cable, 5m B75130020
苏州工业园特拉法真空产品经营部
地 址：苏州工业园区苏虹东路188号方正科技园A幢318B-10室
总 机：0512-67138961
销售服务邮箱：service@tlfvacuum.com
联系人：周先生
手机：13405087310
