激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具，激光干涉仪可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量，为机床误差修正提供依据。使用激光干涉仪检测机床各项误差并进行修正是传统测量手段难以实现的技术，是大幅度提高数控机床的加工精度的关键措施。
过去国内激光干涉仪市场主要有国外品牌占据，但是深圳中图仪器研发出SJ6000激光干涉仪后，这一局面便得到了显著改善，中图仪器激光干涉仪采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量，并进行动态分析。
1.测量精度高、速度快，稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。
国产激光干涉仪（SJ6000）功能：
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析。在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。
国产激光干涉仪（SJ6000）技术参数：
系统性能
测量方式：单频
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：约6分钟
工作温度范围：(0~40)℃
环境温度范围：(0~40)℃，环境湿度：(0~95)%RH
存储温度范围：(-20~70)℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
空气湿度传感器：±6%RH (0~95) %RH
大气压力传感器：±0.1kPa
线性测量
测量距离：(0~40)m
测量精度：0.5ppm (0~40)℃
测量分辨力：1nm
测量最大速度：4m/s
