1 引言
南阳中光学机电装备有限公司真空技术公司产品涉及光学镀膜、激光薄膜、金属薄膜、树脂镀膜等多个领域。自主研发的omc-200b光学膜厚控制仪、ebg系列电子枪等镀膜设备的核心部件，已经赶超世界先进水平。自动镀膜属于半导体行业的实际情况，当时客户对控制系统提出了以下几点要求：系统要稳定可靠，可长时间无人值守自动运行。可以保存多组配方，并能按预先设定的配方自动镀膜。工艺参数实时可调。数据参数可以保留。要为以后的组网余留通讯接口。
2 镀膜自动化系统
2.1 系统分析
根据客户提出的控制要求，系统要能够手动自动灵活控制。因此我们选用了稳定可靠的hitech触摸屏人机界面，该人机界面不但能保存大量的工作数据，而且可用cf卡的方式供用户保存工艺及膜系数据，也可以将镀膜数据在电脑上修改后经由cf卡传回触摸屏，这样管理数据非常方便。另外，由于hitech人机提供了强大的宏指令，而且....[查看详细]
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