电感式位移传感器基本误差测量结果的不确定度评定

   2023-08-21 互联网2590
核心提示:  A.1 测量方法  用线纹工作基准装置校准电感式位移传感器,被校准的电感式位移传感器的测量范围为50.0mm, 输出值电压2V,

  A.1 测量方法

  用线纹工作基准装置校准电感式位移传感器,被校准的电感式位移传感器的测量范围为±50.0mm, 输出值电压±2V, 线性度0.1%。用线纹工作基准装置的输出值为长度位移标准值、采用分辨力为0.0001V、相对示值误差限为ACV±0.06%的数字多用表读取输出电压值。调整传感器的工作范围, 大致均匀分布取11个校准点(包括上、下限),按顺序读出线纹工作基准装置给出的位移值Li 和各校准点上的输出值yi 。以正、反两个行程为一个测量循环,共测量3个循环,根据3个循环的测量结果, 得到的数据如下表,估算基本误差的测量不确定度,采用最小二乘法计算参比直线方程。

  

  按本规范的方法进行数据处理,得到该传感器的计量特性,灵敏度:0.0404 V/mm,基本误差:0.09%,线性度:0.08%,回程误差:0.03%,重复性:0.04%。

  A.2 数学模型

  根据上述测量方法进行校准,在第j次行程中第i个校准点的基本误差 计算式见式(A.1)

  

  A.3 方差和灵敏系数

  A.4 计算分量标准不确定度

  A.4.1 传感器输出值读数引入的标准不确定度分量 ;该标准不确定度分量主要由数字多用表测量读数引入,包含传感器输出值测量重复性和数字多用表本身的示值误差两个部分。分辨力为0.0001V, 其引起的不确定度忽略,由重复性引入的不确定度分量 , 同一校准点,正、反同向行程中,输出值相互间的最大差值除以极差系数(C=1.64),最大差值为0.0012 V,则:

  


 


  A.5 合成标准不确定度

  A.6 扩展不确定度

  

 


 
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