由于多级泵的大量使用，即使设计得在好，相向运动的零件间配合精度即使在高，当多级泵达到极限真空时，也难以阻止气体由低真空端向入口端“突破”返流。另外，由于多级泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间，这也降低多级泵的极限真空度。油封式多级泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来；将有害空间充填，使得高压气体反“突破”的机会少得多，密封性能也就好得多，从而使多级泵能达到较高的真空度。
油封式多级泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。目前，油封式多级泵是国内真空获得技术中应用最广的一种泵，它可单独用作低真空设备的排气用泵，也可用作高真空排气时的前级真空泵，组成成高要求的多级泵。
由于油封式多级泵均装有气镇装置，故也可以抽除潮湿气体。但现在还不适于抽除含氧过高、有爆炸性、对黑色金属有腐蚀性，对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。
