LT7130激光调阻机
设备特点
•调阻效率高：调阻速度相对国内其它激光调阻产品高出4-10倍，产能大大提升，单位成本下降。
•调阻精度高：独特的测控技术，测量控制系统精度的一致性好，提升产品附加值；成品率高，单位成本下降。
•软件可编程：可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行，也可作为专门的测试平台，适应性广。
•使用成本低：采用了最先进的激光器，无耗材，使用成本最低，长期使用节约大量的费用。
•多功能：可实现陶瓷基片的激光划线、打标，减少设备的再投入。
•专业大理石基座，可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动，同时保持机台温度的稳定性，可靠性高。
主要技术参数
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激光系统
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型号规格
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LT7130
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激光波长
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1064nm
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激光功率
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10W
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典型光斑尺寸
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35±5µm
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对焦方式
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自动，计算机程序控制
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冷却方式
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风冷
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激光束定位系统
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激光束运动范围
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60mm X 60mm
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运动分辨率
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0.76µm
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重复定位精度
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±2.5µm
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分步重复运动系统
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运动方式
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空气悬浮运动，无摩擦力
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运动范围
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290mm*260mm
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重复定位精度
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±2µm
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最大运动速度（空载）
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900mm/s
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测量系统
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电阻测量方式
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四线制测量或二线制测量
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电阻测量精度
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中阻0.02%
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电阻测量范围
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0.1Ω-100MΩ
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测量速度
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25µs/次
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零点及满程误差校正
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自动校正
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探针定义
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可编程任意设定
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探针板运动
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自动，计算机程序控制
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