|
|
iH80 |
iH160 |
iH600 |
iH1000 |
iH1800 |
|
峰值速度 |
103 m3h-1 |
165 m3h-1 |
600 m3h-1 |
1000 m3h-1 |
1800 m3h-1 |
|
|
61 cfm |
97 cfm |
353 cfm |
589 cfm |
1060 cfm |
|
|
1717 l min-1 |
2750 l min-1 |
10000 l min-1 |
16670 l min-1 |
30000 l min-1 |
|
极限真空 |
1 x 10-2mbar |
1 x 10-2mbar |
7 x 10-4mbar |
1 x 10-3mbar |
1 x 10-3mbar |
|
|
7.5 x 10-3Torr |
7.5 x 10-3Torr |
5.3 x 10-4Torr |
7.5 x 10-4Torr |
7.5 x 10-4Torr |
|
|
1 Pa |
1 Pa |
0.07 Pa |
0.1 Pa |
0.1 Pa |
|
典型轴封氮流量 |
4 slm |
4 slm |
4 slm |
4 slm |
4 slm |
|
进气口连接 |
ISO63 |
ISO63 |
ISO100 |
ISO100 |
ISO160 |
|
出口连接 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
|
15 psi 压降下典型冷却水流量 |
120 l h-1 |
120 l h-1 |
240 l h-1 |
240 l h-1 |
240 l h-1 |
|
|
2 l min-1 |
2 l min-1 |
4 l min-1 |
4 l min-1 |
4 l min-1 |
|
重量 |
240 kg |
244 kg |
415 kg |
430 kg |
502 kg |
|
极限功率输入 |
2.7 kW |
3.1 kW |
3.4 kW |
3.8 kW |
4.1 kW |
|
电机额定功率 |
3.5 kW |
5.0 kW |
6.1 kW |
6.1 kW |
7.0 kW |
|
油容量 |
0.7 l |
0.85 l |
1.43 l |
1.48 l |
1.6 l |
苏州工业园特拉法真空产品经营部
地 址：苏州工业园区苏虹东路188号方正科技园A幢318B-10室
总 机：0512-67138961
销售服务邮箱：service@tlfvacuum.com
联系人：周先生
手机：13405087310
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Edwards高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
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