地 址：苏州工业园区苏虹东路188号方正科技园A幢318B-10室
总 机：0512-67138961
销售服务邮箱：service@tlfvacuum.com
联系人：周先生
手机：13405087310
Edwards EXT556H复合涡轮分子泵适用范围：
性能特点
高临界前级压力。
提高了EXT的性能和可靠性。
复合轴承。
直流电机驱动。
高体积流速。
* 抽速快。
免维护。
机加工整体转子。
多级Holweck分子拖曳结构，对轻气体产生高压缩比。
极限真空 <10E-10 mbar 。
Edwards EXT556H复合涡轮分子泵性能特点：
高临界前级压力。
高体积流速。
* 抽速快。
复合轴承。
免维护。
机加工整体转子。
直流电机驱动。
多级Holweck分子拖曳结构，对轻气体产生高压缩比。
极限真空 <10E-10 mbar 。
提高了EXT的性能和可靠性。
Edwards EXT556H爱德华复合涡轮分子泵详细参数：
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主入口法兰 DN160ISO-K |
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出口法兰 |
DN25NW |
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放气口 |
1/8 inch BSP |
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吹扫净化口 |
1/8 inch BSP |
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入口泵速* |
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N2 |
540 l/s |
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He |
580 l/s |
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H2 |
500 l/s |
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Ar |
510 l/s |
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压缩比 |
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N2 |
>10E10 |
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He |
10E8 |
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H2 |
10E6 |
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|
Ar |
>10E10 |
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前级泵（推荐） |
RV12 |
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最高入口压力（ N2, He, H2 ）** |
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水冷（水温15°C） |
2 x 10E-3 mbar |
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空冷（大气温度30°C） |
1 x 10E-3 mbar |
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空冷（大气温度35°C） |
5 x 10E-4 mbar |
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额定转速 |
50000 rpm |
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转速达到90%所需时间 ** |
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EXC250 |
5 min |
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EXC300 |
6.5 min |
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EXDC160 |
8 min |
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冷却方式 |
空冷/水冷 |
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大气温度（空冷） |
0-35 °C |
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推荐冷却水流速（水温15 °C） |
15 l/h |
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水温范围 |
10-20 °C |
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入口法兰最高温度 |
100 °C |
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工作姿态 |
垂直 |
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苏州工业园特拉法真空产品经营部
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总 机：0512-67138961
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