活性尘粒：如细菌和酵母等；
非活性尘粒：如头发、皮屑等；
化学物质：如钠、钾、氯化物和镁等。
目前最为有效的方法就是通过洁净室工作服隔离清洗来捕捉并带走尘粒，使污染物不散布到洁净室环境中，以养活减少人员对洁净室环境的污染。无尘服系统的管理在无尘室的污染控制中占有重要的地位。通常情况下，洁净工作服每周洗涤一次，有些要求高洁净环境需要每天清洗，甚至每次进入洁净室都要更换洗净过的洁净工作服。作为污染控制的重要手段，洁净服的清洁程度要求是非常高的。因为在普通的环境下清洗，会附着灰尘和细菌，以及受到水及微生物的危险，所以洁净工作服清洗必须采用特殊的清洗方法无尘隔离清洗。
IEST组织推荐洁净室工衣清洗频率： class 1/ISO3：每次进入 class 10/ISO4：每次进入 class 100/ISO5：1次/天 class 1000/ISO6：2次/周 class 10000/ISO87：2次/周 class 10000/ISO8：1次/周 洁净洗衣流程: 污衣整理---预处理---洁净洗衣---洁净烘干---折叠检查---粒子测试---ESD测试---包装洗衣---交付使用