1、单级旋片式真空泵一般极限压力只能达到1.3Pa(个别可达0.1Pa),为什么极限压力不能再低呢,那么本文就来讲述下将两只单级泵串接起来,组成双级旋片式真空泵的结构及工作原理。
主要由于:单级旋片式真空泵的结构上存在有害空间,该空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后,这一部分气体又被压缩,经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间,所以每次总有些气体排不尽。
2、单级旋片式真空泵结构的有害空间
(1)由于在单级旋片式真空泵工作时,泵腔的吸气空间与排气空间存在着一定的压力差。当排气空间的气体被压缩得很小时,它的压力很高,会通过各种可能的途径突破到吸气空间去,使泵真空度下降。
(2)泵油在泵体内循环流动过程中会溶解进大量气体和蒸气。在吸气侧,因为压力较低,溶解的气体又会跑出来,使泵的真空度不易提高。
为了提高泵的极限真空度,除了提高泵体、转子、旋片的加工精度,尽量减少装配间隙和有害空间以外,最有效的办法是将两只单级泵串接起来,组成双级旋片式真空泵。
3、泵由两个工作室组成。前级泵是低真空级(又叫第一级,低级),后级泵是高真空级(又叫第二级,高级),被抽气体经后级进入前级,由排气阀排出泵外。前、后两级稍有不同:后级的泵腔(缸)比前级大,前级和单极泵一样,随时有油进入泵腔,而后级仅在开始工作时存有少量的油,工作一段时间后,便没有油进入泵腔了。后级工作时,一部分气体从后排气阀直接排到大气中去,一部分气体经由前级泵排到大气中去,工作一段时间后,后级泵里的气体经过压缩后,压强达不到一个大气压以上,推不开后排气阀,这些气体就完全从前级排出去。抽气时间一长,后级泵进气口的压强大大下降,泵的出口压强也很小,进出口的压强差也就小,被压缩气体返回的数量相应减少多同时,后级泵中易蒸发的油分子不断被前级泵抽走,油蒸气的分压强因而就减小了。这样可以提高泵的极限真空度.而油污染也比单级泵小。
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